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      0512-62996345

      FIB

      • 產品介紹

          FIB,聚焦離子束,使用聚焦良好的離子束對樣品進行修改并且取得圖像。FIB主要是通過SEM、STEM、TEM成像之后,取得非常精確地樣品截面或者是執行電路修改。

        技術參數
        • 電子束系統分辨率:  1.1nm(20kV)/1.5nm(10kV)/2.5nm(1kV)
        • 離子束系統分辨率: 5nm(30kV,1pA)
        • 電子束加速電壓: 0.1-30 kV
        • 離子束加速電壓: 0.5-30 kV
        • 電子束流: 4pA-100nA
        • 離子束流: 1pA-50nA